硅烷表面處理技術工程的基礎理論

表面處理技術工程是—門應用性很強的學科，但是它涉及的基礎理論卻十分廣泛，并且隨著表面工程的發展而擴展和深化。本書主要從應用出發，涉及下列應用基礎理論：

1.真空狀態及樹薄氣體理論

許多表面工程的研究與應用都汐及到真空方面的理論和技術，為此要深入研究有些氣體尤其是稀薄氣體中的現象和基本定律。其中的重點有兩個：一是用氣體分子運動論來研究稀簿氣體中的現象，二是稀強氣體的一些電現象。

2.液體及其表面現象

液體的聚集狀態介于氣體和固體之間。液體的表面張力、潤溫與毛細管現象、粘滯性、表面吸附等原理在表面工程中經常應用。表面活性劑能顯著改善表(界)面性質，應用甚廣。

3.固體及其表面現象

固體材料是工程技術中員普遍使用的材料。固體表面結構不能簡單地看作體相結構的終止，而是看作發生了顯著的變化；是化學組成常和體相不同，包括化學組成在表面上的分布和垂直方向上的濃度梯度；二是表面原子往往傾向于進入新的平衡位置，改變原子間的距離，改變配位數，甚至重建表面原子排列結構；三是表面電子結構的改變，例如晶體表面由于原子排列三維平移周期性中斷，或因表面重構、吸附等變化而產生的不同于體相的電子能態，四是表面上外來物的吸附。由于上述結構和組成上的變化，固體表面性質有了顯著的改變，并且描述三維體相物質屬性的定律，已經不能使用于描述固體的表面現象。因此，掌握表面工程中有關固體及表面結構和組成、表面熱力學、表面動力學等方面的知識顯得更為重要。